Teoretisk vakuum og ultimative vakuum er lignende koncepter, som ofte anvendes inden for industrielle vakuum udstyr, såsom miniature vakuumpumpe, miniature luftpumpe, miniature gas prøveudtagning pumpe, miniature gas cirkulationspumpe, osv. Når trykket værdi er så lav som 0, betyder den såkaldte teoretiske vakuum, den ultimative vakuum, at uanset (herunder molekyler, atomer, osv.) i den stat, der er kun en teoretisk tilstand og kan ikke opnås i praksis.
Jo lavere tryk værdien er, det er, jo højere vakuum graden er, jo tættere det er teoretisk vakuum og ultimative vakuum og bedre vakuum udførelsen af pumpen. Men de dertil svarende krav på materielle liv, forsegling betingelser, bearbejdning nøjagtigheden af dele og så videre er også i høj grad forbedret.
Med udviklingen af instrument og måleren industri og folks krav for miljøbeskyttelse er der en stigende efterspørgsel efter miniature vakuumpumper med forholdsvis lav pris, ingen olie eller forurening, lavt strømforbrug og kompakte størrelse.